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半導體 刻蝕工藝(ETCH)

所屬分類:應用領域    發布時間: 2019-10-28    作者:
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半導體 刻蝕工藝(ETCH)

刻蝕工藝(ETCH):通過MFC..控制真空狀態下的反應氣體,對半導體材料進行等離子刻蝕,得到所需要的精密微觀幾何結構。

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