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光伏行業 單晶爐氬氣控制

所屬分類:應用領域    發布時間: 2019-10-28    作者:
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單晶爐氬氣控制:使用MFC用來測控并控制高純度氬氣輸入的流量,提高單晶爐內的真空度和溫度場的控制精度,從而得到均勻、排列**的單晶硅。

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