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光伏行業 等離子體增強化學氣象沉積

所屬分類:應用領域    發布時間: 2019-10-28    作者:
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光伏行業

等離子體增強化學氣象沉積(PECVD):作為制備高效晶體硅太陽能電池的重要步驟,使用高精度、快速響應的MFC是制備**薄膜的必要條件。

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